與紫外線照射殺菌比較：紫外線以光波輻射作用殺菌，只有照射到的位置且達到照射強度標準才有殺菌效果。食品加工車間很高，很大，照射強度與距離平方成反比，強度不夠，照射又有很大死角。臭氧為氣體，擴散性好，無死角，濃度均勻。

　　紫外線殺菌在相對濕度60%以上時效果急劇下降，80%濕度以上時反可誘使細菌復活。臭氧則相反，濕度越高殺菌效果越好，對食品行業80～90%高濕度環境特別適合。食品加工車間安裝臭氧消毒設備費用與紫外線燈相當（16～18m3裝一支30W紫外燈設計標準），而運行費用由于臭氧設備省電，壽命長而大大降低，對于新建車間更為經濟。

　　臭氧會自行分解為氧氣，不產生殘留污染，消毒后不需通風換氣。常規消毒均需通風換氣或化學中和，非常麻煩而又降低消毒效果。而臭氧可直接對食品使用作殺菌或防霉保鮮，為干法消毒，簡單易行。臭氧殺菌濃度對食品是極微弱的氧化濃度，對食品無害。

　　臭氧作為高效廣譜無殘留污染的氣體消毒劑比食品行業常用的消毒劑具有特殊的優越性。與過氧乙酸、高錳酸鉀、甲醛（福爾馬林）、二氧化硫等化學消毒劑相比，其殺菌能力與過氧乙酸相當，高于其他消毒劑。

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